ICP-MS全称是电感耦合等离子体质谱仪，主要用途是进行化学元素分析检测，特别是对金属元素分析最擅长，也能分析B、P、As等非金属元素。他和ICP-OES、AAS是化学元素分析的常用的三种仪器，ICP-MS的检测限最低，可以达到PPT（10的负12次方）级。